振動是監(jiān)測干式螺桿真空泵運行是否止常的重要指標之一，通常為了達到lPa左右的極限真空，兩轉(zhuǎn)子以及轉(zhuǎn)子與泵體的問隙值存0.1 -0.4mm，轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)速在3000 r/rmin左右：中國臺灣的立式螺旋泵樣機轉(zhuǎn)速高達6000r/min以上。由于干式螺桿真空泵主要應(yīng)用于半導體、液晶生產(chǎn)、蝕刻和鍍膜等行業(yè)中，所抽氣體大都含有反應(yīng)生成物的顆粒，這些反應(yīng)生成物會積聚于轉(zhuǎn)子表面，易造成轉(zhuǎn)子卡死、劃膛等故障，嚴重影響設(shè)備的正常運轉(zhuǎn)。利用振動監(jiān)測所得到的各種圖譜掌握真空泵運行狀態(tài)，以期達到在泵運行中或基本不拆卸的情況下判定故障的部位、產(chǎn)生原因和發(fā)展程度，以便及時排除故障，保證直空泵正常運轉(zhuǎn)。

　　(l)常見故障的振動監(jiān)測和診斷方法

　�、僬駝訙y試點、測量信號類型的選擇，干式螺桿泵中易發(fā)生故障的部位為轉(zhuǎn)子與腔體。除此之外，滾動軸承和齒輪的磨損也易引發(fā)故障，要在這些部件上布置測試點。對于軸承測點，應(yīng)選在與軸承座連接剛度較高的地方，要以盡可能多地獲得軸承外圈本身的振動信號為原則。在抽氣泵腔上布置轉(zhuǎn)子和腔體的振動測點，應(yīng)盡量靠近吸氣口或排氣口.以盡可能反映出氣體脈動誘發(fā)的振動。對于旋轉(zhuǎn)機械而言，以軸向和徑向的振動為主·在條件允許的情況下.應(yīng)在此兩方向上都布置測點。測量信號類型包括他移、速度和速度。螺桿泵中的轉(zhuǎn)子不平衡頻率、不對中頻率、軸彎曲頻率、軸承中滾珠通過頻率、齒輪嚙合頻率等成分分布在lOHz-lOkHz范圍內(nèi)，要全面反映出這些特祉頻率，就要選擇速度參照。

　�、谡駝庸收系脑\斷方法在進行故障信號測量時，直接得到的是時域信號，然后通過傅里葉變換得到頻率圖。干式蜾桿真空泵的時域波形呈現(xiàn)出明最的周期特性，反映出振動量的大小和相位，用峰值來表示.而頻譜圖采用有效值來度量。對于某些故障·其特征頻率相同，例如轉(zhuǎn)子弓形彎曲、缺相和不平衡都是以一倍頻(旋轉(zhuǎn)頻率)為主，不易區(qū)分，這時就需要從相位上進行區(qū)分。故障診斷量重要的就足頻譜分析法，頻譜圖能反映出各種故障所對應(yīng)的特征頻率和振動量的大小，據(jù)此可判斷故障發(fā)生的位置、發(fā)展程度和趨勢等，為診斷工作提供依據(jù)。圖列出常見故障的特征。